湘潭大学成功研制国内首款石油勘探用MEMS加速度传感器伺服电路SOC芯片
在省自科基金重点项目《面向3D图像传感器新型硅基单光子检测器及CMOS高速读出电路研究》(11JJ2036)及国家重大专项子课题《MEMS加速度传感器规模化制造技术与数字检波器集成》的支持下,湘潭大学金湘亮教授课题组在MEMS加速度传感器伺服电路信号处理芯片关键技术研发上取得突破性进展,在国内首次研制成功面向石油勘探MEMS加速度传感器伺服电路SOC芯片。
目前我国石油对外依赖度已超过 55%。由于地震勘探技术的发展,埋藏较浅、地质条件比较简单的油田大多已被发现,勘探目标转向埋藏较深、地质条件复杂的油田,这就要求增大勘探深度,其关键设备就是开发具有高灵敏度的石油勘探仪器。石油勘探的数字检波器芯片与系统目前国内都是从国外购买,设备费用昂贵。该芯片的研制成功将替代国外进口产品,对提升国内装备制造水平和石油勘探行业的技术水平具有重要的社会和经济意义。
课题组在湘潭大学
该芯片在国际知名晶圆代工厂台湾旺宏流片,并经中国科学院地质与地球物理研究所MEMS实验室测试,测试结果表明芯片达到设计目标。其关键技术已申请2项发明专利,申请1项集成电路布图设计登记证书;研究成果被Electronics Letters、IETE Journal of Research、固体电子学研究与进展、微电子学等国内外学术期刊接收或发表论文5篇,同时2篇论文在IEEE EIEE2012和IEEE SCET2012国际会议上做口头报告,得到了与会专家的高度肯定。
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