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华裔科学家发明芯片生产新方法

湖南省科学技术厅门户网站 发布时间: 2009-02-11 00:00 【字体:


  科技日报记者张孟军得知“自然”杂志将要公布华裔科学家周郁发明制造计算机芯片新方法的消息后,立即用电话采访了他。周郁告诉记者,将来能像制造汽车零件一样,用“压印法”制造计算机芯片。同现有的光刻法相比,“压印法”速度更快、成本更低,能够生产更小型的芯片。 
   周郁说:“有可能直接地在一小块硅片上,压印小至10纳米的线路图。”目前工业上是采用标准的光刻工艺来制造芯片,仅能刻制大小约130纳米的线路。新技术采用由石英制成的压印模,该印模带有待压印的线路图。当压模压向硅片时,用一束大功率激光射穿透明的压印模,将硅表面熔化,待其变硬后,它将保持一个永久的压印线路图。由于新方法加工过程快速,且直接压印,可免除目前芯片制造过程中很多中间工艺,降低了芯片制造成本。 
  
   毕业于中国科学技术大学的周郁,1980年获得中国科学院研究生院硕士学位,后赴美学习,取得麻省理工学院博士学位。现在斯坦福大学及普林斯顿大学从事科研工作。7年前,周郁曾因发明使用刻光胶的方法来制造集成电路,获得过美国专利。 
  
  
   (科技日报) 
  
  

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华裔科学家发明芯片生产新方法

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