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国内首条工厂化金属溅射膜压敏芯片生产线进入竣工倒计时

湖南省科学技术厅门户网站 发布时间: 2018-07-10 00:00 【字体:

  “奋战100天,高质量完成净化车间的施工建设。”近日,以王国秋教授为首的湖南启泰传感科技有限公司科研团队终于松了一口气,十年如一日的“中国芯”技术攻坚战取得全面胜利,超净车间正式进场装修,工期为100天,标志着国内首条工厂规模产业化的金属溅射膜压敏芯片生产线进入竣工倒计时。

  金属溅射膜压敏芯片生产线是一条专用集成电路之MEMS(即微机械微电子系统)生产线,产品广泛应用于军工和民用领域,将填补我国金属溅射膜压敏芯片工厂规模化生产的空白,推进我国高端压力传感器国产化迈入新时代。

  芯片技术一直是国人的痛,特别是金属溅射膜压敏芯片产业化中的关键技术节点一直未能打通,加之国外对高端芯片核心技术的封锁,导致产业化中的关键工艺落后国际水准15至20年,此前国内尚无一条真正上规模的生产线。

  芯片是传感器最核心的部件,高端芯片批量化生产一直举步不前,我国MEMS(即微机械微电子系统)传感器敏感芯片的自给率仅0.5%,中国成为高端传感器的进口大国。王国秋带领自己的科研团队,十年磨一剑,历尽千辛万苦,攻克了MEMS(微机电系统)传感器中关键技术和工艺中一个又一个难题,首次实现了具有中国自主知识产权的高端传感器大规模产业化,其技术达到世界领先水平,价格仅为进口产品的十分之一,全面攻破国外对我国高端芯片技术的封锁,也将使我国彻底摆脱高端传感器依赖于进口的现状。启泰公司科研团队用锲而不舍、勇攀科学高峰的国家精神为中国圆了一个“芯片梦”。

  启泰传感物联网产业园项目落户浏阳高新区,于2016年启动建设,占地100亩,总投资10亿元,分两期建设。第一期投资5亿元,占地35亩,一期建成后年产压敏芯片600万颗,封装成传感器后,年产值50亿元以上。第二期扩产后,年产压敏芯片1800万颗,封装成传感器后,年产值超过150亿元以上。

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国内首条工厂化金属溅射膜压敏芯片生产线进入竣工倒计时

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