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省科技重大专项“SiC关键装备和电力电子器件技术研发及产业化”项目通过综合绩效评价

湖南省科学技术厅门户网站 发布时间： 2020-12-21 10:00 【字体: 大中小】

12月8日，省科技厅组织专家对中国电子科技集团公司第四十八研究所承担的2017年度省科技重大专项“SiC关键装备和电力电子器件技术研发及产业化”进行了综合绩效评价。厅监督与诚信处、重大专项处、高新处等相关负责人参会，省科技事务中心具体组织实施。

项目以解决SiC电力电子器件生产关键装备国产化、器件产品化为目标，开发了4~6英寸SiC外延设备、SiC高能离子注入机、SiC高温氧化炉等7台SiC关键装备，实现推广应用超10台套，累计销售额近亿元；突破了器件设计仿真技术及高能注入、干法刻蚀、高性能SiC栅氧等机理性难点工艺技术；攻克了SiC器件关键技术，研制出3300VSiC二极管和MOSFET器件芯片，开展了小批量生产，并在轨道交通和新能源汽车领域实现示范应用。项目在执行期内共申报发明专利33项，软件著作权4项，发表论文21篇。项目通过装备与工艺协同创新，实现了自主装备与自主器件产品的协同发展，对促进形成湖南省第三代半导体产业集群和特色优势，更好地支撑国家“新基建”战略具有重要意义。
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省科技重大专项“SiC关键装备和电力电子器件技术研发及产业化”项目通过综合绩效评价

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